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Q. 박막 두께의 균일도를 개선하는 방법
반도체 공정 공부를 하며 질문이 있습니다. 박막 두께의 균일도를 개선하는 방법에는 뭐가 있을까요?
2025.11.30
답변 1
어니언슾SK하이닉스코상무 ∙ 채택률 73% ∙일치회사
채택된 답변보통 장비의 temp나 pressure, dep time 등을 가변해 박막의 profile을 최적화합니다. 장비, 물질마다 performance 차이가 있기 때문에 공정 엔지니어들은 최적조건을 잡는 실험을 통해 reicpe를 tuning하는 업무를 하게 됩니다.
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